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一文讀懂等離子清洗機(jī)的等離子體

更新時間:2022-05-27      點(diǎn)擊次數(shù):1292
  等離子清洗機(jī)中產(chǎn)生的等離子體有著*的物理和化學(xué)特性,可以用于等離子清洗、等離子活化、等離子刻蝕和等離子沉積等工藝。具體有哪些特性呢?
  
  1、電子溫度高,粒子動能大。
  
  2、作為帶電粒子的聚集態(tài),具有類似于金屬的導(dǎo)電性能。
  
  3、化學(xué)性質(zhì)活潑,比較容易發(fā)生化學(xué)反應(yīng),例如等離子體去除有機(jī)物。
  
  4、發(fā)光特性,可以做各種光源。例如霓虹燈、水銀日光燈都是等離子體發(fā)光的現(xiàn)象。
  
  等離子清洗機(jī)中產(chǎn)生的等離子體之所具有以上特性,是因?yàn)榈入x子體內(nèi)部電子和氣體分子間的碰撞。若碰撞能量小,則會發(fā)生彈性碰撞,電子的動能幾乎不會改變。如果碰撞能量很高,分子中繞核運(yùn)動的低能電子,就會在碰撞中獲得足夠高的能量,被激發(fā)至離核較遠(yuǎn)的高能級軌道上運(yùn)動。
  

等離子清洗機(jī)

 

  我們把清洗機(jī)中這種處于高能級狀態(tài)的分子稱為激發(fā)態(tài)分子用XY*表示。激發(fā)態(tài)分子中的電子從高能級跳回到低能級時,便以發(fā)光的形式來釋放多余的能量,由于光的頻率不同就會讓人看到不同的顏色!
  
  若碰撞電子的能量足夠高,電子吸收的能量就可以使其脫離核的束縛而成為自由電子,也就是分子發(fā)生了電離。電子對分子XY的碰撞也可以使之分解成X原子和Y原子(離解)。
  
  若用“:”表示分子中的成鍵電子對,則離解過程可以表示為X:Y→X.+.Y;這就讓帶有未成對電子(用X和Y旁邊的符號·表示)的X,Y就容易發(fā)生化學(xué)反應(yīng),故被稱為化學(xué)活性種或者基團(tuán)。
  
  在等離子清洗機(jī)中H,O,CI等游離態(tài)的原子和CH3,CF2,SiH3等分子都是基團(tuán)。為了明確它們不帶電荷的性質(zhì),我們稱之為中性基團(tuán),以與電離產(chǎn)生的離子性基團(tuán)相區(qū)別開來。

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