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等離子清洗機(jī)廠家丨微波PLASMA提升Die Bonding工藝可靠性

更新時(shí)間:2023-03-07      點(diǎn)擊次數(shù):760
  Die Bonding就是將芯片裝配到基板或框架上去,常用的方法有共晶焊接、銀膠粘接、鉛錫合金焊接等。
  
  前面我們一起了解了微波PLASMA在半導(dǎo)體IC制程封裝的作用及優(yōu)勢。今天讓我們?cè)僖黄鹛接懶酒你y膠粘接工藝,看看微波PLASMA如何提升芯片粘接可靠性。
  
  一、銀膠粘接的主要作用
  
  銀膠是一種固化或干燥后具有一定導(dǎo)電性能的膠黏劑,小功率芯片互聯(lián)、非可焊接表面的互聯(lián),都需要選擇銀膠來進(jìn)行。
  
  銀膠的主要作用:
  

銀膠的主要作用

 

  銀膠粘接的主要作用是給芯片與基板或框架之間,提供良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性和固化效果。因此芯片與基板或框架之間,不止需要形成良好的導(dǎo)電通路,還需要具備一定的粘接強(qiáng)度。
  
  二、影響芯片粘接的因素
  

影響粘接

 

  芯片粘接可靠性是電子封裝質(zhì)量的一個(gè)關(guān)鍵因素,它直接影響了整個(gè)IC電路的質(zhì)量和壽命。
  
  基板或框架表面是否存在有機(jī)物污染和氧化膜、芯片背面硅晶體的浸潤性等,均會(huì)對(duì)粘接效果產(chǎn)生影響。
  
  三、如何提升芯片粘接可靠性
  
  芯片粘接可靠性提升途徑:
  
  1、使用微波PLASMA去除基板或框架表面的有機(jī)物污染;
  
  2、使用微波PLASMA活化芯片背面,改善硅晶體表面活性,提高其浸潤性。
  

微波PLASMA等離子清洗機(jī)

 

微波PLASMA效果驗(yàn)證

 

  實(shí)驗(yàn)證明
  
  使用微波PLASMA等離子清洗機(jī),處理芯片表面和框架表面,能有效地清潔并改善表面的浸潤性,從而提升芯片粘接的效果。
  
  為保證Die Bonding后的器件性能,必須在不破壞芯片及其他所用材料的表面特性、電特性等前提下,去除表面的有機(jī)污染物和氧化膜等。射頻等離子技術(shù)因處理溫度高,均勻性不夠,射頻電流易導(dǎo)致芯片損壞等原因,已無法滿足現(xiàn)在的技術(shù)需求。
  
  晟鼎精密自主研發(fā)微波等離子發(fā)生器,高效均勻,助您無損去除精密器件表面的有機(jī)物污染、并活化器件表面,從而改善可制造性、可靠性以及提高成品率。

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